SMEE Memperkenalkan Generasi Baru Mesin Litografi di Tiongkok

Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) secara resmi meluncurkan sistem litografi kering generasi baru pada China International Import Expo ke-9.

Perkembangan baru ini menandai tonggak penting lainnya dalam program lokalisasi peralatan semikonduktor Tiongkok yang sedang berjalan. Platform ini dibangun di atas arsitektur standar milik sendiri dan mendukung proses manufaktur I-line maupun KrF.

• SMEE memamerkan platform litografi kering generasi baru.
• Dukungan untuk proses teknologi I-line dan KrF tingkat lanjut.
• Lebih dari 10 juta wafer silikon diproses dengan efisiensi operasional mencapai 92%+.
• Peralatan telah aktif dikerahkan di pabrik-pabrik chip domestik Tiongkok.

Fitur teknis platform litografi baru

Produsen mengklaim kendali kepemilikan penuh atas desain dan rantai pasokan komponen perangkat keras utama. Daftar lengkap ini mencakup sistem optik presisi tinggi, mekanisme pemosisian topeng dan wafer, serta kompleks penanganan material otomatis.

Perusahaan menyatakan bahwa kualitas keseluruhan, menyamai alternatif asing terkemuka di pasaran. Akurasi penyelarasan lapisan dan hasil produksi peralatan mendekati standar internasional, memastikan pengoperasian yang andal dan stabil di seluruh lini produksi berkelanjutan.

Metrik produksi dan penerapan industri

Menurut produsen, volume kumulatif wafer silikon yang diproses menggunakan sistem ini telah melampaui 10 juta unit. Selain itu, produktivitas operasional efektif dari peralatan tersebut tetap konsisten di atas 92 persen.

Sistem ini menunjukkan kinerja yang stabil di berbagai proses teknologi dan dirancang untuk penerapan manufaktur jangka panjang. SMEE melaporkan bahwa mesinnya telah beroperasi secara sukses di perusahaan-perusahaan Tiongkok yang memproduksi cip mikro memori dan logika.

Signifikansi strategis untuk pasar domestik

Didirikan pada tahun 2002, SMEE tetap menjadi satu-satunya produsen domestik di Tiongkok yang mampu memproduksi secara massal dan memasok peralatan litografi kering. Memajukan kemampuan lokal ini membantu memitigasi risiko rantai pasokan di tengah pembatasan semikonduktor global yang terus berkembang.