SMEE представила новое поколение литографических машин в Китае

Компания Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) официально представила новое поколение установок сухой литографии. Презентация состоялась в рамках 9-й Китайской международной выставки импортных товаров.

Данная новинка стала важным шагом в реализации масштабной китайской программы по импортозамещению критически важного полупроводникового оборудования. Платформа спроектирована на собственной стандартизированной архитектуре и поддерживает технологические процессы I-line и KrF.

• Новая платформа сухой литографии от SMEE.
• Поддержка технологических процессов I-line и KrF.
• Обработано более 10 млн кремниевых пластин при эффективности свыше 92%.
• Оборудование уже внедрено на китайских заводах чипов.

Особенности новой литографической платформы

Производитель заявляет о полном технологическом контроле над разработкой и поставками ключевых аппаратных компонентов. В этот список входят высокоточные оптические системы, специализированные механизмы позиционирования пластин и масок, а также полностью автоматизированные комплексы для безопасного перемещения материалов на производстве.

Представители компании отмечают, что качество работы новых установок сопоставимо с показателями ведущих зарубежных аналогов. Точность совмещения слоев и общая производительность оборудования вплотную приближаются к современному международному уровню, обеспечивая стабильную работу на непрерывных линиях.

Производственные показатели и внедрение

По официальным данным компании SMEE, суммарный объем обработки кремниевых пластин на данных установках уже превысил отметку в 10 миллионов штук. При этом эффективная производительность самого оборудования составляет более 92 процента, что подтверждает его готовность к серьезным нагрузкам.

Установки демонстрируют высокую стабильность в самых различных технологических процессах и подходят для продолжительной эксплуатации. Сообщается, что техника уже активно задействована на отечественных предприятиях Китая, которые специализируются на выпуске логических микросхем и микросхем памяти.

Значение для полупроводниковой индустрии Китая

Основанная в 2002 году компания SMEE на сегодняшний день остается единственным китайским производителем, способным наладить серийный выпуск и коммерческие поставки установок сухой литографии. Развитие подобных технологий снижает зависимость местного рынка от зарубежных поставщиков на фоне продолжающихся глобальных торговых ограничений и санкционного давления.