SMEE presenta una nueva generación de máquinas de litografía en China

Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) ha presentado oficialmente una nueva generación de sistemas de litografía en seco en la 9ª Exposición Internacional de Importaciones de China.

Este nuevo desarrollo marca otro hito importante en el programa en curso de localización de equipos semiconductores en China. La plataforma está construida sobre una arquitectura estandarizada propia y es compatible con los procesos de fabricación I-line y KrF.

• SMEE exhibió su plataforma de litografía en seco de nueva generación.
• Compatibilidad con procesos tecnológicos avanzados I-line y KrF.
• Más de 10 millones de obleas de silicio procesadas con una eficiencia operativa superior al 92%.
• El equipo ya está desplegado activamente en fábricas de chips nacionales en China.

Características técnicas de la nueva plataforma de litografía

El fabricante afirma tener un control total y propio sobre el diseño y la cadena de suministro de los componentes de hardware clave. Esta lista exhaustiva incluye sistemas ópticos de alta precisión, mecanismos de posicionamiento de máscaras y obleas, y complejos automatizados de manipulación de materiales.

La empresa afirma que la calidad general se equipara a las principales alternativas extranjeras del mercado. La precisión en la alineación de capas y el rendimiento de los equipos se aproximan a los estándares internacionales, lo que garantiza un funcionamiento fiable y estable en líneas de producción continua.

Métricas de producción e implementación industrial

Según el fabricante, el volumen acumulado de obleas de silicio procesadas utilizando estos sistemas ya ha superado los 10 millones de unidades. Además, la productividad operativa efectiva del equipo se mantiene consistentemente por encima del 92 por ciento.

Los sistemas demuestran un rendimiento estable en diversos procesos tecnológicos y están diseñados para su despliegue de fabricación a largo plazo. SMEE informa que su maquinaria ya está operando con éxito en empresas chinas que producen microchips de memoria y lógicos.

Significado estratégico para el mercado nacional

Fundada en 2002, SMEE sigue siendo el único fabricante nacional en China capaz de producir en masa y suministrar equipos de litografía en seco. El avance de estas capacidades locales ayuda a mitigar los riesgos en la cadena de suministro en medio de las cambiantes restricciones globales de semiconductores.