SMEE apresenta nova geração de máquinas de litografia na China

A Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) revelou oficialmente uma nova geração de sistemas de litografia a seco durante a 9ª China International Import Expo.

Este novo desenvolvimento marca mais um marco importante no programa em curso de localização de equipamentos de semicondutores na China. A plataforma é construída sobre uma arquitetura padronizada proprietária e suporta processos de fabricação I-line e KrF.

• A SMEE exibiu sua nova plataforma de litografia a seco.
• Suporte para processos tecnológicos avançados I-line e KrF.
• Mais de 10 milhões de wafers de silício processados com eficiência operacional superior a 92%.
• O equipamento já está ativamente implantado em fábricas de chips domésticas na China.

Recursos técnicos da nova plataforma de litografia

O fabricante afirma ter controle proprietário total sobre o design e a cadeia de suprimentos de componentes de hardware essenciais. Essa lista abrangente inclui sistemas ópticos de alta precisão, mecanismos de posicionamento de máscara e wafer, e complexos automatizados de manuseio de materiais.

A empresa afirma que a qualidade geral se equipara às principais alternativas estrangeiras do mercado. A precisão no alinhamento de camadas e a taxa de transferência do equipamento estão se aproximando dos padrões internacionais, garantindo uma operação confiável e estável em linhas de produção contínua.

Métricas de produção e implementação industrial

Segundo o fabricante, o volume acumulado de wafers de silício processados usando esses sistemas já ultrapassou 10 milhões de unidades. Além disso, a produtividade operacional efetiva do equipamento permanece consistentemente acima de 92%.

Os sistemas demonstram desempenho estável em diversos processos tecnológicos e são construídos para implantação de fabricação de longo prazo. A SMEE relata que seu maquinário já está operando com sucesso em empresas chinesas que produzem microchips de memória e lógicos.

Significado estratégico para o mercado interno

Fundada em 2002, a SMEE continua sendo a única fabricante doméstica na China capaz de produzir em massa e fornecer equipamentos de litografia a seco. O avanço dessas capacidades locais ajuda a mitigar os riscos da cadeia de suprimentos em meio às restrições globais em constante evolução para semicondutores.