SMEE stellt eine neue Generation von Lithografiemaschinen in China vor

Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) hat auf der 9. China International Import Expo offiziell eine neue Generation von Trockenlithografiesystemen vorgestellt.

Diese Neuentwicklung markiert einen weiteren wichtigen Meilenstein im laufenden Programm zur Lokalisierung von Halbleiterausrüstung in China. Die Plattform basiert auf einer proprietären, standardisierten Architektur und unterstützt sowohl I-Line- als auch KrF-Fertigungsprozesse.

• SMEE präsentierte seine Trockenlithografie-Plattform der neuen Generation.
• Unterstützung für fortschrittliche I-Line- und KrF-Technologieprozesse.
• Über 10 Millionen verarbeitete Siliziumwafer bei einer Betriebseffizienz von über 92 %.
• Die Anlagen sind bereits aktiv in chinesischen Chipfabriken im Einsatz.

Technische Merkmale der neuen Lithografie-Plattform

Der Hersteller beansprucht die vollständige, eigenständige Kontrolle über das Design und die Lieferkette der wichtigsten Hardware-Komponenten. Diese umfassende Liste umfasst hochpräzise optische Systeme, Masken- und Wafer-Positionierungsmechanismen sowie automatisierte Materialtransportkomplexe.

Das Unternehmen gibt an, dass die Gesamtqualität mit führenden ausländischen Alternativen auf dem Markt mithalten kann. Die Schichtausrichtungsgenauigkeit und der Durchsatz der Anlagen nähern sich internationalen Standards an und gewährleisten einen zuverlässigen und stabilen Betrieb in kontinuierlichen Produktionslinien.

Produktionskennzahlen und industrielle Implementierung

Nach Angaben des Herstellers hat das kumulierte Volumen der mit diesen Systemen verarbeiteten Siliziumwafer bereits die Marke von 10 Millionen Einheiten überschritten. Darüber hinaus liegt die effektive Betriebsproduktivität der Ausrüstung konstant über 92 Prozent.

Die Systeme demonstrieren eine stabile Leistung bei verschiedenen technologischen Prozessen und sind für den langfristigen Fertigungseinsatz konzipiert. SMEE berichtet, dass seine Maschinen bereits erfolgreich bei chinesischen Unternehmen im Betrieb sind, die Speicher- und Logik-Mikrochips herstellen.

Strategische Bedeutung für den Binnenmarkt

Das im Jahr 2002 gegründete Unternehmen SMEE ist nach wie vor der einzige inländische Hersteller in China, der in der Lage ist, Trockenlithografiegeräte in Massenproduktion herzustellen und zu liefern. Der Ausbau dieser lokalen Kapazitäten trägt dazu bei, Risiken in der Lieferkette angesichts sich wandelnder globaler Halbleiterbeschränkungen zu mindern.