SMEE ने चीन में लिथोग्राफी मशीनों की एक नई पीढ़ी पेश की

शंघाई माइक्रoelectronics इक्विपमेंट (SMEE) ने 9वें चाइना इंटरनेशनल इंपोर्ट एक्सपो में आधिकारिक तौर पर ड्राई लिथोग्राफी सिस्टम की एक नई पीढ़ी का अनावरण किया है।

यह नया विकास चीन के चल रहे सेमीकंडक्टर उपकरण स्थानीयकरण कार्यक्रम में एक और बड़ा मील का पत्थर है। यह प्लेटफॉर्म एक मालिकाना मानकीकृत वास्तुकला पर बनाया गया है और यह I-line और KrF दोनों विनिर्माण प्रक्रियाओं का समर्थन करता है।

• SMEE ने अपने नए जनरेशन के ड्राई लिथोग्राफी प्लेटफॉर्म का प्रदर्शन किया।
• उन्नत I-line और KrF तकनीकी प्रक्रियाओं के लिए समर्थन।
• 92%+ से अधिक परिचालन दक्षता के साथ 1 करोड़ से अधिक सिलिकॉन वेफर्स की प्रोसेसिंग।
• उपकरण पहले से ही चीनी घरेलू चिप फैक्ट्रियों में सक्रिय रूप से तैनात हैं।

नए लिथोग्राफी प्लेटफॉर्म की तकनीकी विशेषताएं

निर्माता का दावा है कि प्रमुख हार्डवेयर घटकों के डिजाइन और आपूर्ति श्रृंखला पर उसका पूर्ण मालिकाना नियंत्रण है। इस व्यापक सूची में उच्च-सटीक ऑप्टिकल सिस्टम, मास्क और वेफर पोजिशनिंग मैकेनिज्म, और स्वचालित सामग्री हैंडलिंग कॉम्प्लेक्स शामिल हैं।

कंपनी का कहना है कि कुल गुणवत्ता बाजार में अग्रणी विदेशी विकल्पों से मेल खाती है। लेयर अलाइनमेंट की सटीकता और उपकरणों का थ्रूपुट अंतरराष्ट्रीय मानकों के करीब पहुंच रहा है, जो निरंतर उत्पादन लाइनों में विश्वसनीय और स्थिर संचालन सुनिश्चित करता है।

उत्पादन मेट्रिक्स और औद्योगिक कार्यान्वयन

निर्माता के अनुसार, इन प्रणालियों का उपयोग करके संसाधित किए गए सिलिकॉन वेफर्स की कुल मात्रा पहले ही 1 करोड़ यूनिट को पार कर चुकी है। इसके अलावा, उपकरणों की प्रभावी परिचालन उत्पादकता लगातार 92 प्रतिशत से ऊपर बनी हुई है।

ये सिस्टम विभिन्न तकनीकी प्रक्रियाओं में स्थिर प्रदर्शन प्रदर्शित करते हैं और दीर्घकालिक विनिर्माण तैनाती के लिए बनाए गए हैं। SMEE की रिपोर्ट है कि इसकी मशीनें मेमोरी और लॉजिक माइक्रोचिप्स का उत्पादन करने वाले चीनी उद्यमों में पहले से ही सफलतापूर्वक काम कर रही हैं।

घरेलू बाजार के लिए रणनीतिक महत्व

2002 में स्थापित, SMEE चीन में एकमात्र घरेलू निर्माता है जो ड्राई लिथोग्राफी उपकरण का बड़े पैमाने पर उत्पादन और आपूर्ति करने में सक्षम है। इन स्थानीय क्षमताओं को आगे बढ़ाने से वैश्विक सेमीकंडक्टर प्रतिबंधों के बीच आपूर्ति श्रृंखला के जोखिमों को कम करने में मदद मिलती है।