SMEE przedstawia nową generację maszyn litograficznych w Chinach

Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) oficjalnie zaprezentowała nową generację systemów litografii suchej podczas 9. Chińskich Międzynarodowych Targów Importowych.

Ten nowy produkt stanowi kolejny ważny kamień milowy w realizowanym przez Chiny programie lokalizacji sprzętu półprzewodnikowego. Platforma bazuje na własnej, standaryzowanej architekturze i obsługuje procesy produkcyjne w technologii I-line oraz KrF.

• SMEE zaprezentowało swoją nową platformę do litografii suchej.
• Wsparcie dla zaawansowanych procesów technologicznych I-line oraz KrF.
• Ponad 10 milionów przetworzonych wafli krzemowych przy wydajności operacyjnej przekraczającej 92%.
• Sprzęt jest już aktywnie wdrażany w chińskich fabrykach chipów.

Cechy techniczne nowej platformy litograficznej

Producent deklaruje pełną, własną kontrolę nad projektem oraz łańcuchem dostaw kluczowych komponentów sprzętowych. Ta kompleksowa lista obejmuje wysoko precyzyjne układy optyczne, mechanizmy pozycjonowania masek i wafli oraz zautomatyzowane kompleksy obsługi materiałów.

Firma twierdzi, że ogólna jakość dorównuje wiodącym zagranicznym alternatywom dostępnym na rynku. Dokładność spasowania warstw oraz wydajność urządzenia zbliżają się do standardów międzynarodowych, co zapewnia niezawodne i stabilne działanie w ciągłych liniach produkcyjnych.

Wskaźniki produkcyjne i wdrożenie przemysłowe

Według producenta łączna liczba wafli krzemowych przetworzonych przy użyciu tych systemów przekroczyła już 10 milionów sztuk. Co więcej, efektywna wydajność operacyjna sprzętu utrzymuje się stabilnie powyżej 92 procent.

Systemy wykazują stabilną wydajność w różnych procesach technologicznych i zostały zaprojektowane z myślą o długoterminowym wdrożeniu produkcyjnym. SMEE informuje, że jej maszyny już teraz z powodzeniem pracują w chińskich przedsiębiorstwach produkujących mikroczipy pamięci i układów logicznych.

Znaczenie strategiczne dla rynku krajowego

Założona w 2002 roku firma SMEE pozostaje jedynym krajowym producentem w Chinach capable (zdolnym) do masowej produkcji i dostarczania sprzętu do litografii suchej. Rozwój tych lokalnych możliwości pomaga łagodzić ryzyka w łańcuchu dostaw w obliczu ewoluujących globalnych ograniczeń dotyczących półprzewodników.