SMEE, Çin'de yeni nesil litografi makinelerini tanıttı

Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE), 9. Çin Uluslararası İthalat Fuarı'nda yeni nesil kuru litografi sistemlerini resmi olarak tanıttı.

Bu yeni gelişme, Çin'in devam eden yarı iletken ekipman yerlileştirme programında bir diğer önemli dönüm noktasını işaret ediyor. Platform, tescilli bir standartlaştırılmış mimari üzerine inşa edildi ve hem I-line hem de KrF üretim süreçlerini destekliyor.

• SMEE yeni nesil kuru litografi platformunu sergiledi.
• Gelişmiş I-line ve KrF teknolojik süreçleri için destek.
• %92'den fazla operasyonel verimlilikle işlenen 10 milyondan fazla silikon gofret.
• Ekipman halihazırda Çinli yerli çip fabrikalarında aktif olarak konuşlandırılmış durumda.

Yeni litografi platformunun teknik özellikleri

Üretici, kilit donanım bileşenlerinin tasarımı ve tedarik zinciri üzerinde tam tescilli kontrol sahibi olduğunu iddia ediyor. Bu kapsamlı liste; yüksek hassasiyetli optik sistemleri, maske ve gofret konumlandırma mekanizmalarını ve otomatik malzeme taşıma komplekslerini içeriyor.

Şirket, genel kalitenin piyasadaki lider yabancı alternatiflerle eşleştiğini belirtiyor. Katman hizalama doğruluğu ve ekipman üretkenliği uluslararası standartlara yaklaşıyor ve sürekli üretim hatlarında güvenilir ile istikrarlı bir operasyon sağlıyor.

Üretim metrikleri ve endüstriyel uygulama

Üreticiye göre, bu sistemler kullanılarak işlenen silikon gofretlerin kümülatif hacmi şimdiden 10 milyon birimi aştı. Dahası, ekipmanın etkin operasyonel verimliliği tutarlı bir şekilde yüzde 92'nin üzerinde kalıyor.

Sistemler, çeşitli teknolojik süreçler boyunca istikrarlı bir performans sergiliyor ve uzun vadeli üretim konuşlandırması için tasarlanmış durumda. SMEE, makinelerinin bellek ve mantık mikroçipler üreten Çinli işletmelerde halihazırda başarıyla çalıştığını bildiriyor.

İç pazar için stratejik önem

2002 yılında kurulan SMEE, Çin'de kuru litografi ekipmanlarını seri üretebilen ve tedarik edebilen tek yerli üretici konumunu koruyor. Bu yerel yeteneklerin ilerletilmesi, gelişen küresel yarı iletken kısıtlamaları ortasında tedarik zinciri risklerini hafifletmeye yardımcı oluyor.